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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

内蒙古杭锦旗：组建暖心服务小分队******

　　【抗疫中，我们众志成城㊼】

　　光明日报记者 高平 王潇

　　“您有一份‘爱心药’，请注意查收!”近日，内蒙古杭锦旗伊和乌素苏木全体党员为新冠病毒感染者上门服务，这样的暖心场景在杭锦旗76个嘎查村、13个社区随处可见。各嘎查村、社区成立暖心服务小分队，第一时间将爱心防疫物资送到困难群众手中。

　　新年伊始，杭锦旗充分发挥嘎查村（社区）党组织牵头统筹作用，以党群服务中心(站)为阵地，整合嘎查村(社区)党员干部、驻村第一书记、机关企事业单位包联干部、业主委员会成员等支援力量，组建560支暖心服务小分队，通过联系走访、送医送药、代购代办等，帮助群众解决急难愁盼问题。

　　“你好，我在外地，这几天回不去，我父亲今年81岁，独自在家，想打加强针，你们能不能上门给打一下？”育才社区暖心小分队接到居民电话求助后，第一时间组织社区医务人员上门为民中A区的老人接种加强针。“家里的老人‘阳’了，开始发烧，我们子女都在外地，实在没办法，于是给村里发了求助信息。没想到1小时以后，支书就带着‘爱心防疫包’上门了，实在太感谢了！”这是发生在锡尼镇胜利村的暖心一幕。

　　随着防疫政策的调整，连日来，感冒药、退烧药的保供压力持续增大，为缓解群众的燃眉之急，杭锦旗在每个嘎查村（社区）党群服务中心都设置了“共享药箱”，采取嘎查村（社区）采购一批、居民捐赠一批的形式筹集药品，并明确专人登记、调配。通过循环使用和补充，真正让有需要的群众得到及时有效治疗。“共享药箱”一经推出，就得到广大群众的积极响应，在全旗各嘎查村（社区）形成浓厚的互帮互助氛围。

　　《光明日报》（ 2023年01月12日 04版）

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）